Плазменная технология получения аморфного диоксида кремния Кашапов Н.Ф., Ямалеев М.М., Лукашкин Л.Н., Гребенщиков Е.А., Гилев И.Ю., Кашапов Р.Н., Кашапов Л.Н. https://doi.org/10.58224/2618-7183-2022-5-5-80-90 Скачать PDF 80-90 стр. kashapov-2